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當(dāng)空氣中含有不同濃度的六氟化硫或其它鹵素氣體時，該混合氣體在高頻電磁場的作用下其電離的程度也將不同，SF6氣體泄露定量檢測儀就是根據(jù)上述原理制造的。SF6氣體泄露定量檢測儀主要適用于電力、鐵道、電器制造、化工、消防器材以及原子物理科研部門對充有六氟化硫或其它鹵素氣體（如：氟、氯、溴、碘及1211、氯仿、氟里昂F11、12、13、22等）的設(shè)備、容量進(jìn)行檢漏，可以迅速、準(zhǔn)確地定性和定量檢測。

SF6氣體泄露定量檢測儀技術(shù)參數(shù)